Wafer Cleaners

  2. Ramgraber SST

    Solvent Wet Stations

    Ramgraber SST

    Used Configuration:

    Tank 1: EKC

    Tank 2: P1331

    Tank 3 and 4: DMF

    Tank 5: IPA

    Known errors:

    Filter from tank 4 is leaking

    Heater 1 from tank 4 is broken

    Heater 3 from tank 4 is broken

  5. Semitool Cintillio SAT (WET998-03)

    Acid Wet Stations

    Semitool Cintillio SAT (WET998-03)

    Toolcontroller with Windows XP

    Remote controller

    Ready for endpointdetection system

    Process: Copper / Titan-Wolfram / dHF (dilluted HF)

    div. spareparts possible (negotiable)

  7. WETV76-01 (SST4D)

    Other Wafer Cleaners

    WETV76-01 (SST4D)

    Ehemalige Chemie-Tankbelegung:

    Tank 1: EKC

    Tank 2: P1331

    Tank 3 und Tank 4: DMF

    Tank 5: IPA

    Datenblätter siehe Anhang.

     

    Anlagenfehler:

    Die Filterkerze vom Tank 4 ist undicht.

    Die Tankheizung 1 vom Tank 4 ist defekt und abgeklemmt.

    Die Tankheizung 3 vom Tank 4 ist defekt und abgeklemmt.