Other Wafer Cleaners
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WETV18-04 SP304
consisting of the main unit, 3 chemical cabinets and sub-equipment -
WETV76-01 (SST4D)
Ehemalige Chemie-Tankbelegung:
Tank 1: EKC
Tank 2: P1331
Tank 3 und Tank 4: DMF
Tank 5: IPA
Datenblätter siehe Anhang.
Anlagenfehler:
Die Filterkerze vom Tank 4 ist undicht.
Die Tankheizung 1 vom Tank 4 ist defekt und abgeklemmt.
Die Tankheizung 3 vom Tank 4 ist defekt und abgeklemmt.
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